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薄膜の密着力

1 :名も無きマテリアルさん:2008/09/03(水) 08:50:06
薄膜の密着力について

薄膜の密着力をあげるために、中間層を導入しているのですが、
具体的に中間層の条件が膨大で・・・
みなさんは、中間層をどのように決定しておりますか?
素材は決定しているのですが、組成比や膜厚で悩んでおります。

密着力も強くないため、悩んでおります。

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