真空待ちの人

1 ：名も無きマテリアルさん：2001/08/16(木) 15:43

今どきこんなヤツは俺だけか。
オイルポンプだし。

164 ：名も無きマテリアルさん：02/05/26 23:27

ＤＰの原理でジェット気流の他に気体の油への溶解度も
関係するって聞いたんだけど・・・
油の温度変化によってポンプ内に気圧差を作るとか。

誰かこの話聞いたことある？
ただのデマ？

さ、真空ひけたか見てこよっと。

165 ：名も無きマテリアルさん：02/06/01 04:40

>>164
まてまて。
溶解して、そのあとどうなるのさ。
DPのオイルってそんなに頻繁に代えるものじゃないでしょ。

デマに変造500ウォン

166 ：名も無きマテリアルさん：02/06/18 13:07

ULVAC最近どう？
ﾒﾝﾃ部分で信頼できるんかな？

167 ：名も無きマテリアルさん：02/06/19 00:25

あげ

168 ：名も無きマテリアルさん：02/06/23 23:41

ターボポンプだけど、中国産だと日本製の1/10程度まで価格が下がるようですね。
メンテナンスコストを一切考えずに、壊れたら交換という考え方で使用したら
かなり安上がりだと思うんですが、そういう需要ってあります？

169 ：名も無きマテリアルさん：02/06/25 01:03

>>168
すぐロックしてフィンがこなごなになるんでないの?
ベアリングもすぐ玉抜けそう (藁

170 ： ◆n29mS/U2 ：02/06/25 01:56

chinnko

171 ： ◆.qhTrU9Y ：02/06/25 01:57

@

172 ：名も無きマテリアルさん：02/06/26 00:08

>>168
壊れたら交換って簡単に言うけど、真空装置の交換はオオゴトでしょう
その前後はとても実験できないしさ

173 ：名も無きマテリアルさん：02/06/26 22:22

>>168 の実験室(＆研究室)は息が詰まりそうな程の真空状態で、
　　　ポンプ交換してもすぐ実験再開できるという罠。

174 ：名も無きマテリアルさん：02/06/27 17:43

うちのDPの冷却は、水冷式なのですが、ちょっと前
４年の奴が手違えかなんか知らんが、排水バルブをとじやがってよ（怒
もう水祭りよ、水祭り。

ホースが破れて噴水状態。発見するまでの30分ほどで余裕で床上浸水。
ひざ下半分ぐらいまで水きてたよ。
もー最悪でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。

175 ：名も無きマテリアルさん：02/06/28 01:04

うちのＤＰの冷却は、空冷式なのですが、ちょっと前
４年の奴が手違えかなんか知らんが、空冷ファン回ってないのを気づかずに
ゲートバルブ開けやがってよ（怒
もう油祭りよ、油祭り。

ＤＰに直結しているチャンバーにはオイルがついててさ。
とりあえず、中身が焼け焦げてないかどうか、開けて確認することになってさ。
ネジひとつはずすのにも一苦労でしたよ。
まあ結局、油量とか大丈夫だったし、
ＤＰの中見るなんてもう一生ないだろうから、良しとしますよ。
もー心配でしたわ。こんな体験ほかにもきぼんぬ。

176 ：名も無きマテリアルさん：02/06/30 23:44

>>175
DP普通サーマルSWついてるじゃん

177 ：某サービス会社社員：02/07/01 16:25

>>175
しょっちゅう作業やっていますが何か？

178 ：名も無きマテリアルさん：02/07/09 02:00

ああ、なつかしいなあ。
大学の研究室の学生さんが多そうだね。
漏れ駅弁国立大だったから、センター試験の日は当然入れない。
でも装置はRP+油拡散ポンプ+liq.N2トラップで真空引いたまんま。
受験者が帰る頃に大学行って、窒素入れたの思い出すな。
何もこんな日に学校来なくてもと思いつつ作業してた。

ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、真空度は
ほとんどTorrを使ってるな。もちろん顧客の要求があれば
Paで資料作成するが国内では極僅か。
やっぱねえ、過去のデータの蓄積があるから、突然単位変更だー
つってPaにするとピンと来ないのよ。

179 ：名も無きマテリアルさん：02/07/10 01:05

補助引きバルブ
メインバルブ
荒引きバルブ
ＲＰリークバルブ

180 ：172：02/07/10 02:45

>>178
>ちなみに某国内半導体装置メーカー勤務だけど、
仕事の方はどんな感じですか?
失礼かもしれませんが、「やっぱり就職はあっちにしとけば良かった」とか
そういうのあります?　当方DPお守り中のMです

181 ：名も無きマテリアルさん：02/07/10 22:57

178っす。
>>180
仕事はねえ、エッチャー開発です。
就職で後悔はしていないし転職する気もないが、給料は低いな。
危険なガス使ってんだから危険手当くれってな感じなんだけど。

ｽﾚ違いなんでポンプの話など。
TMPは数百〜2000L/min以上のもの、バックアップポンプは
ドライポンプでメカニカルブースター付きのものもある。
半導体製造用だから油使う奴なんかとんでもないなあ。
チャンバの圧力はエッチング工程だから、到達は10E-5Torr位、
プラズマONで数mTorr〜1Torrだな。
だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。
大学の時は漏れも10E-10Torr台の表面分析装置使ってて、
ベーキングにアルミホイル使いまくりだったけど別世界になっちまった。

182 ：名も無きマテリアルさん：02/07/10 23:04

訂正

>>181
2000L/min以上→2000L/s以上

183 ：名も無きマテリアルさん：02/07/20 14:20

またーりまたーり
そろそろ引けたかな？

184 ：名も無きマテリアルさん：02/07/23 02:30

>>181
>だからCuガスケットなんか使わないよ。Cu汚染引き起こすしね。

ちょっと待って！
Cu汚染って何ですか？
思いっきり使っちゃってるよCuガスケット
あいたたたた

185 ：名も無きマテリアルさん：02/07/23 22:19

Cu汚染が問題になるのは分野に依るべさ。

>>184
は「真空」を使って何やってんのさ。

186 ：もとSIMS使い：02/07/23 23:31

銅ガスケットよく使っていたよ。
SIMSでもGDMSでもね。
SIMSでも銅のバックグランドはあまり気にしなかったな。
それよかGaにはまいったよ。
みなさん，どこの分析会社使っているのかな？

187 ：TTC ◆pC98/G8U ：02/08/01 03:10

そんな事より１よ、ちょいと聞いてくれよ。スレとあんま関係ないけどさ。
昨日、蒸着のために真空引きに行ったんです。真空引き。
そしたらなんか油がめちゃくちゃ逆流してて引けないんです。
で、よく見たらなんか張り紙してあって、ポンプ故障中、とか書いてあるんです。
もうね、アホかと。馬鹿かと。
お前らな、卒研如きで普段来てない真空引きに来てんじゃねーよ、ボケが。
卒研だよ、卒研。
なんか親子連れとかもいるし。一家４人で真空引きか。おめでてーな。
よーしパパ10^-7torrまで引いちゃうぞー、とか言ってるの。もう見てらんない。
お前らな、金魚のぶくぶくやるからからそこ空けろと。
真空引きってのはな、もっと殺伐としてるべきなんだよ。
（以下略）

188 ：名も無きマテリアルさん：02/08/17 20:21

ロータリーポンプ
オイルの逆流が怖くて
ちゃんと引ききらないまま止めてしまう・・・
どこで止めたらいいんだあああ

189 ：名も無きマテリアルさん：02/08/17 20:50

>>187
第2弾きぼーん

190 ：unko：02/08/18 20:42

>>188
クヌッセン数を計算して、粘性流領域の圧力下限でやめればいいのでは？
ダメならフォアライントラップつけれ。

191 ：TTC ◆pC98/G8U ：02/08/23 00:21

>>189
反応があった。ちょっとうれしい。
吉野家コピペジェネレータを使えば、これくらいなら誰でも作れますよ。

192 ：　　：02/09/08 00:45

Cuガスケットってつかっちゃいけないの？
汚染？？まじですか？

ちなみにあれって一回使い捨てだよね

193 ：名も無きマテリアルさん：02/09/09 00:40

先週の日曜日に渋谷のハンズに行ったんです。
何階かは忘れましたが、特設コーナがあったんです。
機械部品をただバラしただけ(!)の金属部品が売ってたんですが、
タービンのブレードようなどこかで見かけたことのある部品も売りに出されていました。

材質は、、アルミ合金か。
大分痛んではいるが…。
う〜ん、どこかで見たような…。

そうだ!!

ターボだ!!
ターボ分子ポンプだ(wa!!

周りのカバー(?)が見当たらないが、コレはターボだぞ。
サイズは、、この径だと6inch位か？

よし、裏側見てやれ!!
…モータも付いてるし〜。

排気ポートは？

お、あんなところに…。
そうそう、KFフランジだったよ…。

あれ〜？
こっちのコレってロータリーポンプの部品？
マグネトロンのキャビティみたいな部品も転がってるし…。

と、昔の友に突然出会ったような不思議な感覚を覚えましたとさ。

194 ：名も無きマテリアルさん：02/09/09 21:23

>>192
前回よりちょっと強く締める
で、２，３回使ってます。

195 ：192：02/09/10 23:35

>>194
一応使えるんだ！やってみます。
産休！

196 ：名も無きマテリアルさん：02/09/20 00:14

大気開放すっぞ、お前ら。

197 ：名も無きマテリアルさん：02/09/20 02:16

>>195
えー、Cuガスケットは使い捨てでしょう。安いんだし。
そんなもん節約しようとしてチャンバーオープン2度手間になったりしたら、
目も当てられん。
と思うヨ

198 ：名も無きマテリアルさん：02/09/21 12:00

慣れてくると同じCuガスケットを数回は使えるようになるよ。
一回目の使用で強く締めるのはガスケットが勿体無い

199 ：名も無きマテリアルさん：02/09/28 01:53

>>181です。あ-このｽﾚまだあったんだ。

>>192
エッチャーのチャンバは常にプラズマに曝されます。
シリコン化合物を削る装置なんだから、チャンバを構成する
パーツも当然スパッタリングされて消耗します。つまりCu
ガスケットを使えばそれがスパッタされてウェハに運ばれます。
それは半導体で最も嫌われる物の1つ、重金属汚染を引き起
こします。だから使えません。

>>197
研究費、開発費がふんだんにあればその通り。
ﾋﾞﾝﾎﾞな大学の研究室では買う金すら困る所もあり。
話がちょっとそれるがある化学系研究室では年度末に
薬包紙を買う金にすら困り、ビーカー代を学生から徴収
した所がありました。ちなみに国立。

200 ：名も無きマテリアルさん：02/09/28 23:39

>>191
サンクス。コピペジェネレータ楽しめます！

187はText-to-Speech使ってFlash作ったら
さらに良いかも

201 ：192：02/10/02 03:59

>>199
オージェの結果を洗ってみます。
後日報告って事で

202 ：名も無きマテリアルさん：02/10/02 05:55

http://yahooo.s2.x-beat.com/

203 ：名も無きマテリアルさん：02/10/05 09:38

トータルリコール上げ

204 ：名も無きマテリアルさん：02/10/08 16:40

TMPの交換作業で、5分以上に渡りTMP（排気量1500L/S）を抱えつづけますた。

筋肉痛で震えの止まらぬ手で電離真空計のスイッチを押したらフィラメント
が切れますた。

そしてQMASSが死亡。




もうだめぽ

205 ：名も無きマテリアルさん：02/10/12 20:10

いいなぁ
漏れも1500リッタのターボ欲しい

206 ：名も無きマテリアルさん：02/10/13 09:32

Varianの新しいスクロールポンプ買ったんだけど
結構いい感じ。やっぱオイルフリーでしょ。さよならRP。
さよならオイルだらけのコールドトラップ。

http://www.varianinc.com/image/vimage/docs/vacuum/products/shared/sh100/sh100_brochure.pdf

207 ：名も無きマテリアルさん：02/10/21 00:18

ガスケットは
シリコンリングオンリーですが何か？

208 ：名も無きマテリアルさん：02/11/05 16:59

真空揚げ

209 ：名も無きマテリアルさん：02/11/05 20:40

着替え生中継カメラ只今無料!!!
(,,ﾟДﾟ)　http://www.cosmani.tv/gallery/gallery_frame.html

210 ：名も無きマテリアルさん：02/12/07 02:55

>198
　ベークしたＣｕガスケットは再利用すると鈍ってるから、
閉めてもとまんないことがあるけど、とまることもある。
理屈はしらんが閉めてるときの手応えで結構わかる

211 ：名も無きマテリアルさん：02/12/10 05:16

>>210
締めるトルクを調節できるペンチがあるのでオススメ

212 ：MBE：02/12/10 06:07

えきち入れ

213 ：名も無きマテリアルさん：02/12/10 12:12

優秀ターボがこないだ壊れてドイツ旅行中。
よって、ロードロックでは2軍ターボが活躍中。
-8乗Torrまで5時間。。。
よって、みんなでいっせいに基板出し入れ。
そろそろソース枯れる時期だし。。。
てことは、また成長室ベーキングだし。。。
あぁ、修論間に合うかな。。。
蒸着機をデシケータ代わりに使ってやるぅ。

214 ：名も無きマテリアルさん：02/12/11 00:03

年越しベーキング

215 ：名も無きマテリアルさん：02/12/11 00:27

>>212
うちでは「ティムーソ」と呼んでるよ

216 ：名も無きマテリアルさん：02/12/15 03:23

クリスマスベーキングです。
ああ、リボンヒーターのイルミネーションが眩しい…



鬱

217 ：名も無きマテリアルさん：02/12/19 22:12

>>215
そのナイスなネーミングの由来は？？

218 ：215：02/12/22 18:11

>>217

「ティッソ（ちっそ）」と「ティムーポ」が混ざって
ティムーソになっちゃいました。

219 ：217：02/12/23 09:28

>>218

あはは。
なんでその二つが混ざるかは突っ込まないとして
俺もそれ使お。
誰もわからねーだろ−な。。

220 ：名も無きマテリアルさん：02/12/24 01:37

>>212
サイフォンしか
ないだろが！！！！！
くだらんことぬかすな
ボケ！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！！

221 ：名も無きマテリアルさん：02/12/25 09:35

調子こいてSiチューブ割れた。

222 ：bloom：02/12/25 09:57

http://www.agemasukudasai.com/bloom/

223 ：名も無きマテリアルさん：02/12/26 01:06

クリスマスも終わったわけだが。

224 ：215：02/12/26 10:34

>>223
クリスマス成長敢行しますたが何か?

225 ：山崎渉：03/01/06 15:38

（＾＾）　

226 ：名も無きマテリアルさん：03/01/14 02:39

age

227 ：名も無きマテリアルさん：03/01/14 04:32

変な音がしてきたよ。
ちょっと見てきます。

228 ：名も無きマテリアルさん：03/01/14 05:34

MXなどで集めた動画をみんなでココにUPしよう！
http://www6.ocn.ne.jp/~endou/ten.html

229 ：名も無きマテリアルさん：03/01/14 13:50

>>227
ターボ壊れる前兆?

230 ：名も無きマテリアルさん：03/01/14 23:11

今日もきゅーぽんきゅーぽん、あしたもきゅーぽんきゅーぽん
もちろん今夜もきゅーぽんゆーぽん。冬場はつらひ。

231 ：名も無きマテリアルさん：03/01/15 14:59

新造チェンバーの立ち上げ中。９乗Paまで落としたいのにまだ８乗。焼きが足らんのかな？
こんどはイオンポンプを焼く。

232 ：名も無きマテリアルさん：03/01/24 23:29

このスレタイ最高！研究室の仲間で爆笑！

ちなみに漏れは装置焼き前の「真空待ちの人」。
卒論前なのでこんな時間に。
早く引けないかにゃー。

233 ：ぼけなす ◆BOKE..htys ：03/01/25 03:44

俺も俺も

234 ：●：03/01/25 21:35

>>231
-9..9乗Pa？ -11mBar!

私等の所では，マルチゲージにエラーが出ますが…
（真空度が-10mBar付近までしか取れない）

何のchamberですか? MBE?

235 ：●：03/01/25 21:36

-11mBarじゃなくって -11乗mBarですね
-10mBarは-10乗mBar...

ｳﾂﾀﾞ

236 ：名も無きマテリアルさん：03/01/26 00:16

(ｍ･∀･)ｍ＜べーきん君！
(ｍ´∀`)ｍ＜･･･
-10Torrｷﾀ━━━(･∀･)━━━!!!

と思いきやQ-MASS死亡
(σ´･ω･`)σしょぼぼん

237 ：名も無きマテリアルさん：03/01/26 01:53

まぁチャソバーの大きさにも寄るわな
ウチも今焼いてます

238 ：名も無きマテリアルさん：03/01/26 17:23

ウチは最強で９条（Torr)まで

239 ：名も無きマテリアルさん：03/01/27 05:16

-------------------------------------------
本日23：00時より祭りを開催いたします。
是非、参加下さいます様、お願いします。
携帯ＰＨＳ
迷惑メールサイト一斉訪問お祭り開催
http://jbbs.shitaraba.com/news/bbs/read.cgi?BBS=853&KEY=1043335260
-------------------------------------------

240 ：231：03/01/27 13:18

>>234 ●さん
汎用表面観測用です。製膜ではあまり手の込んだこと
ができないけれど、仕事関数を測ったり〜。

その後Varianのイオンポンプをアルミ箔でグルグル撒い
て焼入れ中。焼き上がりが楽しみだわさ♪

241 ：vvv：03/01/27 13:24

http://jsweb.muvc.net/index.html
　★お気に入りに追加してしまったアドレス★

242 ：●：03/01/29 17:46

で、Q-MASSの飛んだ方？修理に出しました？

243 ：●：03/01/30 10:46

大気開放準備
材料温度の降温中…

244 ：名も無きマテリアルさん：03/02/10 01:43

材料温度、どのくらいの速さで下げてます?

245 ：1：03/02/10 19:21

このスレ、なんかかわいいですね

246 ：えと：03/02/10 19:52

えっ！！まじっ！見えとるやん！！！


http://www.hi-net.zaq.ne.jp/bubbs207

247 ：名も無きマテリアルさん ：03/02/10 23:23

>>244
出来るだけ速く。

248 ：名も無きマテリアルさん：03/02/11 01:10

坩堝を割らない程度に，これ重要

249 ：●：03/02/11 10:47

>>245
真空引きってのは、もっと殺伐としているべきなんだよ（以下略

250 ：244：03/02/11 13:10

100℃/15min くらいじゃ早い?＞降温

251 ：●：03/02/11 13:59

>>250
速いかな？Alの様にお行儀の悪い材料は、融点前後100℃で
2℃/minぐらいにしないと、ちと怖い。

っていうか、直ぐに割りやがる（泣

252 ：244：03/02/12 04:09

あー、もちろんAlは融点付近は2℃/minで下げてますね

ってかウチのとこは下げるのにストップウォッチ持って、デジタルの
温度調節の表示をボタン押して手動で下げるんですが(Al下げる時とか
は1時間以上そこに貼り付いていなくちゃいけない)、他のトコもこん
なもんなのでしょうか

253 ：●：03/02/12 11:57

>>252
普通はPID制御を使ってramp値と指定温度を指定してやって、放置プレイかと思われます。

254 ：790：03/02/12 17:25

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255 ：世直し一揆（コピペ推奨）：03/02/12 17:32

＜血液型A型の一般的な特徴＞（見せかけの優しさ・もっともらしさ（偽善）に騙され
るな！！）
●とにかく気が小さい(神経質、臆病、二言目には「世間」、了見が狭い）
●他人に異常に干渉し、しかも好戦的・ファイト満々（キモイ、自己中心）
●自尊心が異常に強く、自分が馬鹿にされると怒るくせに平気で他人を馬鹿にしようと
する（ただし、相手を表面的・形式的にしか判断できず(早合点・誤解の名人)、実際に
はたいてい、内面的・実質的に負けている）
●本音は、ものすごく幼稚で倫理意識が異常に低い（人にばれさえしなければＯＫ！）
●「常識、常識」と口うるさいが、実はA型の常識はピントがズレまくっている（日本
の常識は世界の非常識）
●権力、強者（警察、暴走族…ｅｔｃ）に弱く、弱者には威張り散らす（強い者にはへつらい、弱い者に対してはいじめる）
●あら探しだけは名人級でウザイ（例え10の長所があってもほめることをせず、たった１つの短所を見つけてはけなす）
●基本的に悲観主義でマイナス思考に支配されているため性格がうっとうしい（根暗）
●単独では何もできない（群れでしか行動できないヘタレ）
●少数派の異質、異文化を排斥する(差別主義者、狭量）
●集団によるいじめのパイオニア＆天才(陰湿＆陰険）
●悪口、陰口が大好き（Ａ型が３人寄れば他人の悪口、裏表が激しい）
●他人からどう見られているか、人の目を異常に気にする（「〜みたい」とよく言う、
世間体命）
●自分の感情をうまく表現できず、コミュニケーション能力に乏しい（同じことを何度
も言ってキモイ）　
●表面上協調・意気投合しているようでも、腹は各自バラバラで融通が利かず、頑固(本当は個性・アク強い）
●人を信じられず、疑い深い（自分自身裏表が激しいため、他人に対してもそう思う）
●自ら好んでストイックな生活をしストレスを溜めておきながら、他人に猛烈に嫉妬
する（不合理な馬鹿）
●執念深く、粘着でしつこい（「一生恨みます」タイプ）
●自分に甘く他人に厳しい（自分のことは棚に上げてまず他人を責める。しかも冷酷）
●男は、女々しいあるいは女の腐ったみたいな考えのやつが多い(例：「俺のほうが男
前やのに、なんでや！（あの野郎の足を引っ張ってやる！！）」）

256 ：名も無きマテリアルさん：03/02/14 17:46

>>252
ウチはPIDコントローラで5℃/min（融点前後100度）に設定して
報知プレイかな
550℃切ったら、10℃/minで完全ほったらかし(笑)

257 ：244：03/02/15 02:26

うー、やっぱり皆さんそうですよねぇ。
ウチのもPID制御したいYO

258 ：986：03/02/15 12:45

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259 ：名も無きマテリアルさん：03/02/17 19:43

| ､ l ，
| ﾟ∀ﾟ)-
| ' l　`
|∧∧
| ﾟ∀ﾟ)　　MBEｵﾌﾟｰﾝ
|ｏ旦ｏ
|∧∧
| ﾟ∀ﾟ)　　ｼﾃﾓｲｲﾃﾞｰｶｰ?
| ow○
￣￣￣￣￣￣￣￣

260 ：名も無きマテリアルさん：03/02/17 20:00

>>259
リークバルブ開け
俺にやらせて・・・
あの快感なんともいえない・・・

261 ：●：03/02/18 00:38

MBEは開放するのは楽なんだけど，その後がね…

262 ：名も無きマテリアルさん：03/02/19 23:41

>>252

昔、某半導体メーカーにいた頃、Alのセル（というかルツボ）は使い捨てだった。
無理やり再利用してもろくなモンできなかったし。ありゃ割れるモンです。
ちんたらやるより、早く温度下げてお掃除お掃除。

263 ：252：03/02/22 05:09

>>262
ルツボを使い捨て?! すげーカルチャーショックです
うちの研究室でそんなことしたら教授が頭から火を噴きます

264 ：名も無きマテリアルさん：03/02/22 06:19

ワラタ
http://homepage3.nifty.com/digikei/ten.html